تری کلروسیلان

تری کلروسیلان (TCS, SiHCl3, CAS 10025-78-2) یک مایع بی رنگ و بسیار فرار با بوی تند و خفه کننده کلرید هیدروژن است. این ماده که در 31.8 درجه می‌جوشد و به شدت با رطوبت واکنش نشان می‌دهد، منبع اصلی فرآیند زیمنس برای تولید پلی سیلیکون با خلوص{10} بالا برای سلول‌های خورشیدی فتوولتائیک و ویفرهای نیمه هادی است. TCS همچنین به طور گسترده در رشد ویفر اپیتاکسیال سیلیکون، سنتز ارگانوسیلیکن (روغن های سیلیکون، لاستیک ها، رزین ها، عوامل جفت کننده)، رسوب لایه نازک سیلیکون CVD و به عنوان یک عامل کاهنده انتخابی در سنتز آلی استفاده می شود. موجود در درجه صنعتی (بیشتر یا برابر با 99.0٪) و درجه الکترونیکی (تا 9N خلوص). طبقه بندی شده به عنوان واکنش پذیر در برابر آب و بسیار قابل اشتعال (UN 1295، کلاس 4.3+2.3، PG I) با محدوده انفجاری بسیار وسیع از 1.2% تا 90.5%؛ فقط تحت شرایط کاملاً بدون آب با محافظت از نیتروژن خشک کار کنید.